В области производства полупроводниковых или жидкокристаллических дисплеев интеграция устройств в последние годы увеличилась. При изготовлении устройства, называемого очень крупномасштабной интегральной схемой, требуется тонкий рисунок 1 микрон или менее. В таком производственном процессе мелкая пыль или очень небольшое количество газовых примесей оседают или адсорбируются на схеме проводки, что приводит к выходу из строя цепи. Поэтому необходимо, чтобы в этих газах могли существовать как реакционный газ, так и газ-носитель с высокой чистотой, то есть всего несколько частиц и газовых примесей. По этой причине необходимо, чтобы капиллярная трубка из нержавеющей стали или член использовали такой газ с высокой чистотой, а его внутренняя поверхность используется в качестве загрязнителя для выброса загрязняющих веществ, с минимальным количеством частиц и газа. В дополнение к инертным газам, таким как азот и аргон, многие газы, называемые специальными газами, также используются в качестве газов для производства полупроводников. Примеры специальных газов включают коррозионные газы, такие как хлор, хлористый водород и бромистый водород, и химически нестабильные газы, такие как силос. Первый требует коррозионной стойкости к газу, в то время как второй требует некаталитических характеристик.
До сих пор, чтобы уменьшить осаждение или адсорбцию пыли или воды, внутренняя поверхность детали, используемой для производства полупроводникового газа, была сглажена до тех пор, пока ее шероховатость поверхности Rmax не достигнет 1 микрона или менее. Холодное волочение, механическая полировка, химическая полировка, полировка или их комбинация могут быть использованы в качестве метода сглаживания внутренней поверхности или частей трубы. Однако очень гладкий материал со значением 1 микрон или менее в основном получают электролитической полировкой. Внутреннюю поверхность трубы или аналогичной трубы разглаживают, затем очищают водой высокой чистоты и сушат газом высокой чистоты для получения конечного продукта.
Сварка обычно используется при сварке. Это связано с тем, что сварка может обеспечить высокую прочность и хорошую герметичность трубопровода. При прокладке трубопроводов в качестве защитного газа используется инертный газ высокой чистоты, обычно аргон, а его внутренняя поверхность контактирует с газом высокой чистоты через трубопровод, чтобы максимально избежать нагрева части загрязнения и окисления до высоких температур. Кроме того, при прокладке трубопровода трубопровод очищается высокочистым аргоном или азотом, чтобы удалить эти частицы и при этом остаться в трубе. Когда трубопровод длинный и сложный, например, трубопровод, это занимает от нескольких дней до нескольких недель. В последнее время снижение затрат на строительство завода по производству полупроводников и раннюю эксплуатацию завода было сильно востребовано. Для того чтобы соответствовать этим требованиям, теперь необходимо сократить время очистки.
В дополнение к вышеуказанным свойствам, труба и газоустройки высокой чистоты должны обладать сварочными способностями, площадью соединения, необходимой для торцевых уплотнений, и износостойкостью; когда детали, такие как соединения, обработаны, требуется слабость Маха. С другой стороны, известно, что специальные газы с коррозионной стойкостью и некаталитическими свойствами, которые требуются для изготовления полупроводниковых труб или аналогичных газов, могут быть улучшены путем нагрева поверхности нержавеющей стали таким образом, чтобы в атмосфере, в такой атмосфере, парциальное давление кислорода контролировалось. Стоит отметить, что в этой литературе объективным веществом трубопровода является нержавеющая сталь SUS 316L.
Вышеупомязанная требуемая коррозионная стойкость и некаталитические характеристики относятся не только к газопроводам. Таким же спросом пользуется и нержавеющая сталь, используемая в различном оборудовании для изготовления полупроводников, одно из которых имеет тонкую обработку пластин. Аустенитная нержавеющая сталь, в частности, типа SUS 316L, в основном используется в качестве материала для труб и других элементов оборудования. Японская патентная публикация Kokai No 161145/1988 раскрывает нестандартную высокочистую аустенитную нержавеющую сталь стальных труб, используемых в чистых помещениях. Неметаллические включения ограничивают снижение содержания марганца, кремния, алюминия и кислорода, тем самым уменьшая образование частиц с внутренней поверхности трубопровода.
Кроме того, Япония опубликовала патентную публикацию No 198463, 1989/, в которой раскрывается элемент из нержавеющей стали для оборудования для производства полупроводников. Эти элементы являются окисляющим газом после электрохимической полировки нержавеющей стали. При определенных условиях на нем образуется оксидный слой толщиной от 100 до 500 ангстрем и нагревается таким образом, что количество атомов Ni во внешней части является пропорциональным